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北方华创推动光伏装备国产化助力高效电池技术发展

2017年4月16日,在上海召开的“高效光伏产品技术发展及设备应用研讨会”上,北方华创微电子受邀参加会议,并做了《高效电池用关键设备发展现状与展望——低压扩散和大产能PECVD的发展与趋势》的演讲,与业界同仁一同分享了北方华创微电子在低压扩散技术以及PECVD薄膜沉积技术近期研发成果。

从2001年开始,中国光伏行业经历了从全球份额11%,到今日全球份额70%的大幅提升;从生产装备整线进口,到今日常规光伏电池生产线已基本实现装备国产化。一代技术依赖于一代工艺,一代工艺依赖一代装备来实现,装备是产业的基石,是推动光伏技术创新的引擎。

近年来,在国家“十三五”政策的引导下,高效光伏产品市场需求迅速扩大,各电池企业对高效电池技术的研发和技改需求日益强烈,而北方华创微电子作为高端光伏装备厂商,一直关注高效电池技术装备国产化的研究。北方华创微电子自主研发生产的低压扩散炉和大产能PECVD,特别适合用于制造PERC、N-PERT、黑硅、N型双面、IBC、MWT、背结、异质结等新型高效电池。其中低压扩散炉以其方阻均匀性一致、方阻均匀性好、设备稳定性高,工艺复现率高等优势成为电池片企业技术研发以及技术升级改造的首要之选。而大产能PECVD以其优异的成膜质量和大产能获得业界的认可。

未来,北方华创微电子将继续携手业界同仁,推动光伏装备国产化,助力高效光伏电池技术发展,为提升光伏行业全球竞争力砥砺前行。

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