yh86银河国际官方网站(中国)有限公司

yh86银河国际官方网站(中国)有限公司

北方华创SaquaTM 单片清洗机进驻中芯北方28纳米生产线

近日,北方华创集团下属全资子公司北京北方华创微电子装备有限公司SaquaTM单片清洗机正式进驻中芯北方集成电路制造(北京)有限公司(简称“中芯北方”)28纳米生产线,这是国产半导体设备在集成电路领域取得了又一重大突破。

集成电路铜制程清洗工艺要求在颗粒控制、铜腐蚀率、金属污染控制、交叉污染控制等方面有极高的工艺标准。北方华创自主研发的新一代SaquaTM单片清洗机,是继90纳米、65/55纳米产品后的又一次升级,新设备能完全满足集成电路代工厂28纳米技术代的生产工艺要求。同时,SaquaTM单片清洗机兼具通孔/沟槽刻蚀后清洗、衬垫去除后的清洗等多种工艺,支持多任务并行处理,可最大程度提高产能。

到目前为止,北方华创已经有硅刻蚀机、PVD设备、单片退火设备、氧化炉、退火炉、LPCVD设备及单片清洗机等进入国内主流集成电路生产线,实现稳定量产。北方华创将以此次进驻为契机,进一步跟进客户需求,为客户创造更多价值,实现国产集成电路设备的不断超越。

 

Baidu
sogou